国产值测设备公司逐渐取得打破

　　检测和量测构成半导体制作的质量操控环节。检测和量测是半导体加工过程中的两大质量操控环节（以下总称“量检测”）。使用于前道制程和先进封装的质量操控依据工艺可细分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两大环节。检测指在晶圆外表上或电路结构中，检测其是否出现异质状况，如颗粒污染、外表划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺点；量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺度和资料特性做出的量化描绘，如薄膜厚度、要害尺度、刻蚀深度、外表描摹等物理性参数的量测。

　　量检测设备全球商场空间较大。依据SEMI猜测，2022年全球半导体前道制作设备商场销售额估计为1010亿美元。参照Gartner的计算，量检测等工艺操控设备在半导体设备中占比为11%，咱们估计2022年全球量检测设备的商场规模为111亿美元。假定中国大陆商场占全球比例为28%，则估计2022年中国大陆的量检测设备商场规模在31亿美元。

　　全球半导体检测和量测设备商场出现国外设备企业独占的格式。全球范围内首要检测和量测设备企业包含科磊半导体、使用资料、日立等。科磊半导体一家独大，依据VLSIResearch的计算，其在2020年全球检测与量测设备的算计商场比例占比为50.8%。2020年，全球前五大公司算计商场比例占比超过了82.4%，均来自美国和日本，商场集中度较高。

　　量检测设备国产化率很低，未来有较大国产化空间。现在国内首要的量检测设备公司包含：中科飞测、上海精测、上海睿励等，而这些公司的算计营收体量占中国大陆半导体检测和量测设备商场的比例较小，但出现快速增长趋势。依据咱们的测算，2021年，上述三家国产值检测公司的半导体设备营收为5.13亿元，占中国大陆的商场比例为2.7%，显现量检测设备现在的国产化率很低，而未来的潜在国产化空间较大。

　　国产值检测公司逐渐取得打破。中科飞测的无图形晶圆缺点检测设备和三维描摹量测设备已适用于2Xnm或以上制程工艺，套刻精衡量测设备也有28nm以下产品在客户产线验证中。精测半导体布局了晶圆缺点检测、要害尺度丈量、膜厚丈量、描摹量测等多个产品，其间明场检测、OCD、电子束缺点复查均在国内处于领先地位。睿励科学仪器现在已有多台光学膜厚丈量设备和光学缺点检测设备出货给国内客户，其间睿励的光学膜厚丈量设备已使用于28nm及以上的芯片生产线nm工艺验证，而其光学缺点检测设备现在最高检测精度到达100nm，并取得多台订单。